កោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ

កោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យត្រូវបានបែងចែកទៅជាគ្រីស្តាល់ស៊ីលីកុន និងស៊ីលីកុនអាម៉ូហ្វ ដែលក្នុងចំណោមកោសិកាស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់អាចត្រូវបានបែងចែកបន្ថែមទៀតទៅជាកោសិកា monocrystalline និងកោសិកា polycrystalline ។ប្រសិទ្ធភាពនៃស៊ីលីកុន monocrystalline គឺខុសពីស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់។

ចំណាត់ថ្នាក់៖

កោសិកាស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់ពន្លឺព្រះអាទិត្យដែលប្រើជាទូទៅនៅក្នុងប្រទេសចិនអាចបែងចែកជា:

គ្រីស្តាល់តែមួយ 125 * 125

គ្រីស្តាល់តែមួយ 156 * 156

ប៉ូលីគ្រីស្តាល់ 156 * 156

គ្រីស្តាល់តែមួយ 150 * 150

គ្រីស្តាល់តែមួយ 103 * 103

Polycrystalline 125 * 125

ដំណើរការ​ផលិត:

ដំណើរការនៃការផលិតកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យត្រូវបានបែងចែកទៅជាការត្រួតពិនិត្យស៊ីលីកុន wafer - វាយនភាពលើផ្ទៃ និងការរើស - ប្រសព្វសាយភាយ - កញ្ចក់ស៊ីលីកុន dephosphorization - ប្លាស្មា etching និង pickling - ថ្នាំកូតប្រឆាំងនឹងការឆ្លុះបញ្ចាំង - ការបោះពុម្ពអេក្រង់ - ការដុតយ៉ាងលឿន។ល។ ព័ត៌មានលម្អិតមានដូចខាងក្រោម៖

1. ការត្រួតពិនិត្យស៊ីលីកុន wafer

Silicon wafers គឺជាក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូននៃកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ ហើយគុណភាពនៃ silicon wafers កំណត់ដោយផ្ទាល់នូវប្រសិទ្ធភាពនៃការបំប្លែងកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ។ដូច្នេះ ចាំបាច់ត្រូវត្រួតពិនិត្យ ស៊ីលីកុន wafers ដែលចូលមក។ដំណើរការនេះត្រូវបានប្រើជាចម្បងសម្រាប់ការវាស់វែងតាមអ៊ីនធឺណិតនៃប៉ារ៉ាម៉ែត្របច្ចេកទេសមួយចំនួននៃ wafers ស៊ីលីកុន ប៉ារ៉ាម៉ែត្រទាំងនេះជាចម្បងរួមមានភាពមិនស្មើគ្នានៃផ្ទៃ wafer, អាយុកាលរបស់ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនភាគតិច, ធន់ទ្រាំ, ប្រភេទ P/N និង microcracks ជាដើម។ ក្រុមឧបករណ៍នេះត្រូវបានបែងចែកទៅជាការផ្ទុក និងការផ្ទុកដោយស្វ័យប្រវត្តិ។ , ការផ្ទេរស៊ីលីកុន wafer, ផ្នែករួមបញ្ចូលប្រព័ន្ធ និងម៉ូឌុលរាវរកចំនួនបួន។ក្នុងចំនោមពួកគេ ឧបករណ៍ចាប់ wafer ស៊ីលីកុន photovoltaic រកឃើញភាពមិនស្មើគ្នានៃផ្ទៃនៃ wafer ស៊ីលីកុនហើយក្នុងពេលដំណាលគ្នារកឃើញប៉ារ៉ាម៉ែត្ររូបរាងដូចជាទំហំនិងអង្កត់ទ្រូងនៃ wafer ស៊ីលីកុន;ម៉ូឌុលរកឃើញការបំបែកមីក្រូត្រូវបានប្រើដើម្បីរកមើលការបំបែកមីក្រូខាងក្នុងនៃ wafer ស៊ីលីកុន;លើសពីនេះទៀត មានម៉ូឌុលការរកឃើញចំនួនពីរ ម៉ូឌុលតេស្តអនឡាញមួយត្រូវបានប្រើជាចម្បងដើម្បីសាកល្បងភាពធន់ភាគច្រើននៃស៊ីលីកុន wafers និងប្រភេទនៃ wafers ស៊ីលីកុន ហើយម៉ូឌុលផ្សេងទៀតត្រូវបានប្រើដើម្បីរកឱ្យឃើញអាយុកាលនៃក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនភាគតិចនៃ wafers ស៊ីលីកុន។មុនពេលការរកឃើញនូវអាយុកាល និងធន់ទ្រាំនៃក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនជនជាតិភាគតិច វាចាំបាច់ត្រូវរកឱ្យឃើញនូវអង្កត់ទ្រូង និងស្នាមប្រេះតូចៗនៃស៊ីលីកុន wafer ហើយយកបន្ទះស៊ីលីកុនដែលខូចចេញដោយស្វ័យប្រវត្តិ។ឧបករណ៍ត្រួតពិនិត្យ wafer ស៊ីលីកុនអាចផ្ទុក និងដក wafers ដោយស្វ័យប្រវត្តិ ហើយអាចដាក់ផលិតផលដែលគ្មានគុណភាពនៅក្នុងទីតាំងថេរ ដោយហេតុនេះធ្វើអោយប្រសើរឡើងនូវភាពត្រឹមត្រូវ និងប្រសិទ្ធភាពនៃការត្រួតពិនិត្យ។

2. វាយនភាពលើផ្ទៃ

ការរៀបចំវាយនភាពស៊ីលីកុន monocrystalline គឺត្រូវប្រើ anisotropic etching នៃ silicon ដើម្បីបង្កើតជាពីរ៉ាមីត tetrahedral រាប់លាន ពោលគឺរចនាសម្ព័ន្ធពីរ៉ាមីត នៅលើផ្ទៃនៃរាល់សង់ទីម៉ែត្រការ៉េនៃស៊ីលីកូន។ដោយសារតែការឆ្លុះនិងចំណាំងផ្លាតជាច្រើននៃពន្លឺឧបទ្ទវហេតុនៅលើផ្ទៃ ការស្រូបយកពន្លឺត្រូវបានកើនឡើង ហើយចរន្តចរន្តខ្លី និងប្រសិទ្ធភាពនៃការបំប្លែងថ្មត្រូវបានធ្វើឱ្យប្រសើរឡើង។ដំណោះស្រាយ anisotropic etching នៃ silicon ជាធម្មតាជាដំណោះស្រាយអាល់កាឡាំងក្តៅ។អាល់កាឡាំងដែលមានគឺសូដ្យូមអ៊ីដ្រូអុកស៊ីតប៉ូតាស្យូមអ៊ីដ្រូសែនលីចូមអ៊ីដ្រូអុកស៊ីតនិងអេទីឡែនឌីមីន។ភាគច្រើននៃស៊ីលីកូនប្តឹងត្រូវបានរៀបចំដោយប្រើដំណោះស្រាយរលាយថោកនៃសូដ្យូមអ៊ីដ្រូសែនដែលមានកំហាប់ប្រហែល 1% ហើយសីតុណ្ហភាព etching គឺ 70-85 ° C ។ដើម្បីទទួលបានស្រោមអនាម័យឯកសណ្ឋាន ជាតិអាល់កុលដូចជាអេតាណុល និងអ៊ីសូផូផាណុលក៏គួរតែត្រូវបានបន្ថែមទៅក្នុងដំណោះស្រាយជាភ្នាក់ងារស្មុគស្មាញដើម្បីពន្លឿនការ corrosion នៃស៊ីលីកូន។មុនពេលដាក់ពាក្យប្តឹង ស៊ីលីកុន wafer ត្រូវតែទទួលរងការ etching ផ្ទៃបឋម ហើយប្រហែល 20-25 μm ត្រូវបាន etched ជាមួយនឹងដំណោះស្រាយ etching អាល់កាឡាំង ឬអាស៊ីត។បនា្ទាប់ពីបន្ទរត្រូវបានឆ្លាក់ ការសំអាតគីមីទូទៅត្រូវបានអនុវត្ត។បន្ទះស៊ីលីកុនដែលត្រៀមរួចជាស្រេចលើផ្ទៃ មិនគួរទុកក្នុងទឹកក្នុងរយៈពេលយូរដើម្បីការពារការចម្លងរោគទេ ហើយគួរតែត្រូវបានសាយភាយឱ្យបានឆាប់តាមដែលអាចធ្វើទៅបាន។

3. របកគំហើញ

កោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យត្រូវការប្រសព្វ PN ដែលមានផ្ទៃដីធំ ដើម្បីដឹងពីការបំប្លែងថាមពលពន្លឺទៅជាថាមពលអគ្គិសនី ហើយឡភ្លើងដែលសាយភាយគឺជាឧបករណ៍ពិសេសសម្រាប់ផលិតប្រសព្វ PN នៃកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ។ចង្រ្កាននៃការសាយភាយបំពង់ត្រូវបានផ្សំឡើងជាចម្បងនៃបួនផ្នែក៖ ផ្នែកខាងលើ និងផ្នែកខាងក្រោមនៃទូករ៉ែថ្មខៀវ បន្ទប់ឧស្ម័នផ្សង ផ្នែកតួរបស់ចង្រ្កាន និងផ្នែកគណៈរដ្ឋមន្ត្រីឧស្ម័ន។ការសាយភាយជាទូទៅប្រើប្រភពរាវ phosphorus oxychloride ជាប្រភពនៃការសាយភាយ។ដាក់ ​​wafer ស៊ីលីកូនប្រភេទ P នៅក្នុងធុងរ៉ែថ្មខៀវនៃចង្រ្កានសាយភាយបំពង់ ហើយប្រើអាសូតដើម្បីនាំយកផូស្វ័រអុកស៊ីក្លរីតចូលទៅក្នុងធុងរ៉ែថ្មខៀវនៅសីតុណ្ហភាពខ្ពស់ 850-900 អង្សាសេ។ផូស្វ័រ អុកស៊ីក្លរីត មានប្រតិកម្មជាមួយស៊ីលីកុន វេហ្វ័រ ដើម្បីទទួលបានផូស្វ័រ។អាតូម។បន្ទាប់ពីរយៈពេលជាក់លាក់មួយ អាតូមផូស្វ័រចូលទៅក្នុងស្រទាប់ផ្ទៃនៃស៊ីលីកុន wafer ពីគ្រប់ទិសទី ហើយជ្រាបចូល និងសាយភាយចូលទៅក្នុងស៊ីលីកុន wafer តាមរយៈចន្លោះរវាងអាតូមស៊ីលីកុន បង្កើតជាចំណុចប្រទាក់រវាង N-type semiconductor និង P- ប្រភេទ semiconductor នោះគឺ ប្រសព្វ PN ។ប្រសព្វ PN ដែលផលិតដោយវិធីសាស្រ្តនេះមានឯកសណ្ឋានល្អ ភាពមិនដូចគ្នានៃធន់នឹងសន្លឹកគឺតិចជាង 10% ហើយអាយុកាលរបស់ក្រុមហ៊ុនដឹកជញ្ជូនជនជាតិភាគតិចអាចលើសពី 10ms ។ការផលិត PN junction គឺជាដំណើរការមូលដ្ឋាន និងសំខាន់បំផុតក្នុងការផលិតកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ។ដោយសារតែវាគឺជាការបង្កើតប្រសព្វ PN អេឡិចត្រុងនិងរន្ធមិនត្រលប់ទៅកន្លែងដើមវិញទេបន្ទាប់ពីហូរដូច្នេះចរន្តមួយត្រូវបានបង្កើតឡើងហើយចរន្តត្រូវបានដកចេញដោយខ្សែដែលជាចរន្តផ្ទាល់។

4. Dephosphorylation កញ្ចក់ silicate

ដំណើរការនេះត្រូវបានប្រើក្នុងដំណើរការផលិតកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ។ដោយការឆ្លាក់គីមី ស៊ីលីកុន wafer ត្រូវបានជ្រមុជនៅក្នុងដំណោះស្រាយអាស៊ីត hydrofluoric ដើម្បីបង្កើតប្រតិកម្មគីមីដើម្បីបង្កើតសមាសធាតុស្មុគស្មាញរលាយអាស៊ីត hexafluorosilicic ដើម្បីលុបប្រព័ន្ធផ្សព្វផ្សាយ។ស្រទាប់នៃកញ្ចក់ phosphosilicate បានបង្កើតឡើងនៅលើផ្ទៃនៃ wafer ស៊ីលីកូនបន្ទាប់ពីការប្រសព្វ។ក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការសាយភាយ POCL3 មានប្រតិកម្មជាមួយ O2 ដើម្បីបង្កើតជា P2O5 ដែលត្រូវបានតំកល់លើផ្ទៃនៃស៊ីលីកុន wafer ។P2O5 មានប្រតិកម្មជាមួយ Si ដើម្បីបង្កើតអាតូម SiO2 និងផូស្វ័រ តាមរបៀបនេះ ស្រទាប់ SiO2 ដែលមានធាតុផូស្វ័រត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅលើផ្ទៃនៃស៊ីលីកុន wafer ដែលត្រូវបានគេហៅថាកញ្ចក់ផូស្វ័រ។គ្រឿងបរិក្ខារសម្រាប់ដកកញ្ចក់ស៊ីលីកុនផូស្វ័រ ជាទូទៅមានតួខ្លួនសំខាន់ ធុងលាងសម្អាត ប្រព័ន្ធ servo ដៃមេកានិច ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងអគ្គិសនី និងប្រព័ន្ធចែកចាយអាស៊ីតស្វ័យប្រវត្តិ។ប្រភពថាមពលសំខាន់ៗគឺអាស៊ីត hydrofluoric អាសូត ខ្យល់ដែលបានបង្ហាប់ ទឹកសុទ្ធ ខ្យល់បញ្ចេញកំដៅ និងទឹកសំណល់។អាស៊ីត Hydrofluoric រំលាយស៊ីលីកា ដោយសារតែអាស៊ីត hydrofluoric មានប្រតិកម្មជាមួយស៊ីលីកា ដើម្បីបង្កើតឧស្ម័នស៊ីលីកុន tetrafluoride ដែលងាយនឹងបង្កជាហេតុ។ប្រសិនបើអាស៊ីតអ៊ីដ្រូហ្វ្លុយអូរីកច្រើនពេក ស៊ីលីកុនតេត្រាហ្វ្លុយអូរីដែលផលិតដោយប្រតិកម្មនឹងមានប្រតិកម្មបន្ថែមទៀតជាមួយនឹងអាស៊ីតអ៊ីដ្រូហ្វ្លុយអូរីកដើម្បីបង្កើតជាអាស៊ីត hexafluorosilicic ស្មុគស្មាញ។

5. ការឆ្លាក់ប្លាស្មា

ចាប់តាំងពីក្នុងអំឡុងពេលដំណើរការសាយភាយ បើទោះបីជាការសាយភាយទៅខាងក្រោយត្រូវបានអនុម័តក៏ដោយ ក៏ផូស្វ័រនឹងត្រូវបានសាយភាយលើផ្ទៃទាំងអស់ដោយជៀសមិនរួច រួមទាំងគែមនៃ wafer ស៊ីលីកុនផងដែរ។អេឡិចត្រុងដែលបង្កើតដោយរូបវិទ្យាដែលប្រមូលបាននៅផ្នែកខាងមុខនៃប្រសព្វ PN នឹងហូរតាមតំបន់គែមដែលផូស្វ័រត្រូវបានសាយភាយទៅផ្នែកខាងក្រោយនៃប្រសព្វ PN ដែលបណ្តាលឱ្យមានសៀគ្វីខ្លី។ដូច្នេះ ស៊ីលីកុន doped នៅជុំវិញកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យត្រូវតែត្រូវបានឆ្លាក់ ដើម្បីលុបប្រសព្វ PN នៅគែមក្រឡា។ដំណើរការនេះជាធម្មតាត្រូវបានធ្វើដោយប្រើបច្ចេកទេស etching ប្លាស្មា។ការឆ្លាក់ប្លាស្មាស្ថិតនៅក្នុងស្ថានភាពសម្ពាធទាប ម៉ូលេគុលមេនៃឧស្ម័នប្រតិកម្ម CF4 ត្រូវបានរំភើបដោយថាមពលប្រេកង់វិទ្យុដើម្បីបង្កើតអ៊ីយ៉ូដ និងបង្កើតប្លាស្មា។ប្លាស្មាត្រូវបានផ្សំឡើងដោយអេឡិចត្រុង និងអ៊ីយ៉ុងដែលមានបន្ទុក។នៅក្រោមឥទ្ធិពលនៃអេឡិចត្រុង ឧស្ម័ននៅក្នុងបន្ទប់ប្រតិកម្មអាចស្រូបយកថាមពល និងបង្កើតជាក្រុមសកម្មមួយចំនួនធំបន្ថែមពីលើការបំប្លែងទៅជាអ៊ីយ៉ុង។ក្រុមប្រតិកម្មសកម្មឈានដល់ផ្ទៃ SiO2 ដោយសារតែការសាយភាយ ឬនៅក្រោមសកម្មភាពនៃវាលអគ្គិសនី ដែលពួកគេប្រតិកម្មគីមីជាមួយនឹងផ្ទៃនៃវត្ថុធាតុដែលត្រូវឆ្លាក់ ហើយបង្កើតជាផលិតផលប្រតិកម្មងាយនឹងបង្កជាហេតុដែលបំបែកចេញពីផ្ទៃនៃវត្ថុធាតុ។ etched និងត្រូវបានបូមចេញពីបែហោងធ្មែញដោយប្រព័ន្ធបូមធូលី។

6. ថ្នាំកូតប្រឆាំងនឹងការឆ្លុះបញ្ចាំង

ការឆ្លុះបញ្ចាំងនៃផ្ទៃស៊ីលីកុនប៉ូលាគឺ 35% ។ដើម្បីកាត់បន្ថយការឆ្លុះបញ្ចាំងលើផ្ទៃ និងបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃការបំប្លែងកោសិកា វាចាំបាច់ក្នុងការដាក់ស្រទាប់នៃខ្សែភាពយន្តប្រឆាំងនឹងការឆ្លុះបញ្ចាំងពីស៊ីលីកុននីត្រាត។នៅក្នុងផលិតកម្មឧស្សាហកម្ម ឧបករណ៍ PECVD ត្រូវបានគេប្រើជាញឹកញាប់ដើម្បីរៀបចំខ្សែភាពយន្តប្រឆាំងនឹងការឆ្លុះបញ្ចាំង។PECVD គឺជាប្លាស្មាដែលបង្កើនការបំភាយចំហាយគីមី។គោលការណ៍បច្ចេកទេសរបស់វាគឺប្រើប្លាស្មាដែលមានសីតុណ្ហភាពទាបជាប្រភពថាមពល គំរូត្រូវបានដាក់នៅលើ cathode នៃការបញ្ចេញពន្លឺក្រោមសម្ពាធទាប ការបញ្ចេញពន្លឺត្រូវបានប្រើដើម្បីកំដៅគំរូទៅសីតុណ្ហភាពដែលបានកំណត់ទុកជាមុន ហើយបន្ទាប់មកបរិមាណសមស្រប។ ឧស្ម័នប្រតិកម្ម SiH4 និង NH3 ត្រូវបានណែនាំ។បន្ទាប់ពីប្រតិកម្មគីមី និងប្រតិកម្មប្លាស្មាជាបន្តបន្ទាប់ ខ្សែភាពយន្តសភាពរឹង ពោលគឺខ្សែភាពយន្តស៊ីលីកុននីត្រាត ត្រូវបានបង្កើតឡើងនៅលើផ្ទៃនៃគំរូ។ជាទូទៅ កំរាស់នៃខ្សែភាពយន្តដែលដាក់ដោយវិធីសាស្ត្របំភាយចំហាយគីមីដែលបង្កើនប្លាស្មានេះគឺប្រហែល 70 nm ។ខ្សែភាពយន្តដែលមានកម្រាស់នេះមានមុខងារអុបទិក។ដោយប្រើគោលការណ៍នៃការជ្រៀតជ្រែកនៃខ្សែភាពយន្តស្តើង ការឆ្លុះបញ្ចាំងនៃពន្លឺអាចត្រូវបានកាត់បន្ថយយ៉ាងខ្លាំង ចរន្តខ្លី និងទិន្នផលរបស់ថ្មត្រូវបានកើនឡើងយ៉ាងខ្លាំង ហើយប្រសិទ្ធភាពក៏ប្រសើរឡើងយ៉ាងខ្លាំងផងដែរ។

7. ការបោះពុម្ពអេក្រង់

បន្ទាប់ពីកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យបានឆ្លងកាត់ដំណើរការវាយនភាព ការសាយភាយ និង PECVD ប្រសព្វ PN ត្រូវបានបង្កើតឡើង ដែលអាចបង្កើតចរន្តនៅក្រោមការបំភ្លឺ។ដើម្បីនាំចេញចរន្តដែលបានបង្កើតវាចាំបាច់ដើម្បីធ្វើឱ្យអេឡិចត្រូតវិជ្ជមាននិងអវិជ្ជមាននៅលើផ្ទៃថ្ម។មានវិធីជាច្រើនដើម្បីបង្កើតអេឡិចត្រូត ហើយការបោះពុម្ពអេក្រង់គឺជាដំណើរការផលិតទូទៅបំផុតសម្រាប់ការផលិតអេឡិចត្រូតកោសិកាពន្លឺព្រះអាទិត្យ។ការបោះពុម្ពអេក្រង់គឺដើម្បីបោះពុម្ពលំនាំដែលបានកំណត់ទុកជាមុននៅលើស្រទាប់ខាងក្រោមដោយមធ្យោបាយនៃការក្រឡោត។គ្រឿងបរិក្ខារមានបីផ្នែក៖ ការបោះពុម្ពបិទភ្ជាប់ប្រាក់-អាលុយមីញ៉ូមនៅខាងក្រោយថ្ម ការបោះពុម្ពបិទភ្ជាប់អាលុយមីញ៉ូមនៅខាងក្រោយថ្ម និងការបោះពុម្ពបិទភ្ជាប់ប្រាក់នៅផ្នែកខាងមុខនៃថ្ម។គោលការណ៍ការងាររបស់វាគឺ៖ ប្រើសំណាញ់នៃគំរូអេក្រង់ដើម្បីជ្រាបចូលផ្ទៃរអិល អនុវត្តសម្ពាធជាក់លាក់មួយលើផ្នែករលោងនៃអេក្រង់ដោយប្រើឧបករណ៍អេតចាយ ហើយរំកិលទៅចុងម្ខាងទៀតនៃអេក្រង់ក្នុងពេលតែមួយ។ទឹកថ្នាំ​ត្រូវ​បាន​ច្របាច់​ចេញ​ពី​សំណាញ់​នៃ​ផ្នែក​ក្រាហ្វិក​ទៅ​លើ​ស្រទាប់​ខាងក្រោម​ដោយ​ម៉ាស៊ីន​ច្របាច់​នៅពេល​វា​ផ្លាស់ទី។ដោយសារឥទ្ធិពលនៃការបិទភ្ជាប់ viscous, imprint ត្រូវបានជួសជុលក្នុងជួរជាក់លាក់មួយ ហើយ squeegee តែងតែមានទំនាក់ទំនងលីនេអ៊ែរជាមួយបន្ទះបោះពុម្ពអេក្រង់ និងស្រទាប់ខាងក្រោមកំឡុងពេលបោះពុម្ព ហើយបន្ទាត់ទំនាក់ទំនងផ្លាស់ទីជាមួយចលនារបស់ squeegee ដើម្បីបញ្ចប់។ ដំណាក់កាលបោះពុម្ព។

8. sintering យ៉ាងឆាប់រហ័ស

បន្ទះស៊ីលីកុនដែលបោះពុម្ពលើអេក្រង់មិនអាចប្រើដោយផ្ទាល់បានទេ។វាត្រូវតែត្រូវបាន sintered យ៉ាងឆាប់រហ័សនៅក្នុង furnace sintering ដើម្បីដុតចេញពី binder ជ័រសរីរាង្គដោយបន្សល់ទុកស្ទើរតែអេឡិចត្រូតប្រាក់សុទ្ធដែលត្រូវបានប្រកាន់ខ្ជាប់យ៉ាងជិតស្និទ្ធទៅនឹង wafer ស៊ីលីកូនដោយសារតែសកម្មភាពនៃកញ្ចក់។នៅពេលដែលសីតុណ្ហភាពនៃអេឡិចត្រូតប្រាក់ និងស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់ឡើងដល់សីតុណ្ហភាព eutectic អាតូមស៊ីលីកុនគ្រីស្តាល់ត្រូវបានបញ្ចូលទៅក្នុងវត្ថុធាតុអេឡិចត្រូតប្រាក់រលាយក្នុងសមាមាត្រជាក់លាក់មួយ ដោយហេតុនេះបង្កើតបានជាទំនាក់ទំនង ohmic នៃអេឡិចត្រូតខាងលើ និងខាងក្រោម និងការកែលម្អសៀគ្វីបើកចំហ។ វ៉ុលនិងកត្តាបំពេញនៃក្រឡា។ប៉ារ៉ាម៉ែត្រសំខាន់គឺធ្វើឱ្យវាមានលក្ខណៈធន់ទ្រាំដើម្បីបង្កើនប្រសិទ្ធភាពនៃការបំប្លែងក្រឡា។

ចង្រ្កាន sintering ត្រូវបានបែងចែកជាបីដំណាក់កាល: ការដុតមុន sintering និងត្រជាក់។គោលបំណងនៃដំណាក់កាលមុន sintering គឺដើម្បី decompose និងដុត binder វត្ថុធាតុ polymer នៅក្នុង slurry ហើយសីតុណ្ហភាពកើនឡើងយឺតនៅដំណាក់កាលនេះ;នៅក្នុងដំណាក់កាល sintering ប្រតិកម្មរូបវន្ត និងគីមីផ្សេងៗត្រូវបានបញ្ចប់នៅក្នុងរូបកាយ sintered ដើម្បីបង្កើតជារចនាសម្ព័ន្ធខ្សែភាពយន្តធន់ទ្រាំ ដែលធ្វើឱ្យវាមានភាពធន់។សីតុណ្ហភាពឡើងដល់កំពូលក្នុងដំណាក់កាលនេះ;នៅក្នុងដំណាក់កាលត្រជាក់ និងត្រជាក់ កញ្ចក់ត្រូវបានធ្វើឱ្យត្រជាក់ រឹង និងរឹង ដូច្នេះរចនាសម្ព័ន្ធខ្សែភាពយន្តធន់ទ្រាំត្រូវបានជួសជុលជាប់នឹងស្រទាប់ខាងក្រោម។

9. គ្រឿងកុំព្យូទ័រ

នៅក្នុងដំណើរការនៃការផលិតកោសិកាគ្រឿងបរិក្ខារបរិក្ខារគ្រឿងកុំព្យូទ័រដូចជាការផ្គត់ផ្គង់ថាមពលថាមពលការផ្គត់ផ្គង់ទឹកប្រព័ន្ធលូបង្ហូរ HVAC ម៉ាស៊ីនបូមធូលីនិងចំហាយពិសេសក៏ត្រូវបានទាមទារផងដែរ។ឧបករណ៍ការពារអគ្គីភ័យ និងការការពារបរិស្ថានក៏មានសារៈសំខាន់ជាពិសេសផងដែរ ដើម្បីធានាសុវត្ថិភាព និងការអភិវឌ្ឍន៍ប្រកបដោយចីរភាព។សម្រាប់ខ្សែសង្វាក់ផលិតកម្មសូឡាដែលមានទិន្នផលប្រចាំឆ្នាំ 50MW ការប្រើប្រាស់ថាមពលនៃដំណើរការ និងឧបករណ៍ថាមពលតែមួយមុខគឺប្រហែល 1800KW ។បរិមាណនៃដំណើរការទឹកសុទ្ធគឺប្រហែល 15 តោនក្នុងមួយម៉ោង ហើយតម្រូវការគុណភាពទឹកត្រូវនឹងស្តង់ដារបច្ចេកទេស EW-1 នៃទឹកថ្នាក់ទីអេឡិចត្រូនិចរបស់ប្រទេសចិន GB/T11446.1-1997 ។បរិមាណទឹកត្រជាក់ដំណើរការក៏មានប្រហែល 15 តោនក្នុងមួយម៉ោង ទំហំភាគល្អិតក្នុងគុណភាពទឹកមិនគួរធំជាង 10 មីក្រូនទេ ហើយសីតុណ្ហភាពផ្គត់ផ្គង់ទឹកគួរតែមានពី 15-20 អង្សាសេ។បរិមាណបូមធូលីគឺប្រហែល 300M3 / H ។ជាមួយគ្នានេះ ធុងស្តុកអាសូតប្រហែល ២០ ម៉ែត្រគូប និងធុងផ្ទុកអុកស៊ីហ្សែន ១០ ម៉ែត្រគូបក៏ត្រូវបានទាមទារផងដែរ។ដោយគិតគូរពីកត្តាសុវត្ថិភាពនៃឧស្ម័នពិសេសដូចជា silane វាក៏ចាំបាច់ក្នុងការរៀបចំបន្ទប់ឧស្ម័នពិសេសដើម្បីធានាបាននូវសុវត្ថិភាពផលិតកម្មយ៉ាងពិតប្រាកដ។លើសពីនេះ ប៉មចំហេះស៊ីលីន និងស្ថានីយ៍ព្យាបាលទឹកស្អុយក៏ជាកន្លែងចាំបាច់សម្រាប់ផលិតកោសិកាផងដែរ។